电离系统的微制造真空接口

摘要

描述了一种将常压电离器接口连接到真空系统的平面元件。所述元件将静电光学器件和撇取器与可以充满预定压力气体的内室结合，并通过硅的光刻、蚀刻和连接构成。

主权项

一种用于连接分离的电离源和分离的真空系统的微制造接口构件，所述接口构件用于将由所述电离源产生的离子束传输到所述真空系统，所述接口由具有至少一个图案化表面的半导体材料形成，所述材料具有限定于其中的孔以便在所述材料中提供通道，通过所述通道所述离子束可以在出现在真空系统之前容纳于所述接口构件并穿过所述接口构件。