蓝宝石的抛光装置及其抛光方法

摘要

本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件，其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机，连接件固定在工作台上，支撑板装设在连接件上，待抛光的蓝宝石晶片固定在支撑板上，激光光束从待抛光的蓝宝石晶片的上方辐射到蓝宝石晶片上，驱动工作台作X方向运动的步进电机及驱动工作台作Y方向运动的步进电机均与控制装置连接。本发明由于通过调节激光光束的入射角；通过控制工作台从而控制工件的X、Y方向的运动，控制工件相对激光光束的运动轨迹，实现蓝宝石晶片表面的全面扫描抛光。本发明能够实现非常微量的材料去除，并且可降低甚至消除热对蓝宝石材料的影响，获得低表面粗糙度和亚表面损伤程度的抛光表面。

主权项

一种蓝宝石的抛光装置，其特征在于包括有激光光束(1)、支撑板(4)、工作台(6)、驱动工作台(6)作X方向运动的步进电机(7)、驱动工作台(6)作Y方向运动的步进电机(8)、连接件(9)，其中工作台(6)上装设有驱动其作X方向运动的步进电机(7)及驱动其作Y方向运动的步进电机(8)，连接件(9)固定在工作台(6)上，支撑板(4)装设在连接件(9)上，待抛光的蓝宝石晶片(2)固定在支撑板(4)上，激光光束(1)从待抛光的蓝宝石晶片(2)的上方辐射到蓝宝石晶片(2)上，驱动工作台(6)作X方向运动的步进电机(7)、驱动工作台(6)作Y方向运动的步进电机(8)均与控制装置连接；上述待抛光的蓝宝石晶片(2)通过工件定位元件(3)放置在支撑板(4)上，上述支撑板(4)的一端通过铰接件(5)铰装在连接件(9)，支撑板(4)的另一端通过倾斜角度调节机构(10)与连接件(9)连接，上述倾斜角度调节机构(10)为做出有圆弧型调节滑槽(12)的连接板(13)，连接板(13)的一端通过固定件(14)固定在连接件(9)上，连接板(13)所设圆弧型调节滑槽(12)上设有与支撑板(4)连接的紧固件(11)。