发明名称 高频电镀用快恢复整流二极管及其制造方法
摘要 一种具有高频率特性,既适合高电压、又适合高电流密度的30KHz/2~5KA/(200~400)V的高频电镀用快恢复整流二极管及其制造方法,采用N型(100)径向单晶硅片,电阻率ρn为5~9Ω-cm,直径为48~70mm,厚度为175~185μm的单晶硅片;硅片扩散,在1250℃下进行双面一次扩散;扩散片检测;磷硅、硼硅玻璃吸收,从1250℃缓慢降温到1050℃,速率为1℃/分,恒温吸收2~3小时;继续慢降温,直至炉温降到600℃后出炉,使少子寿命τp达到12~16μS;低温扩铂,将少子寿命τp控制在4~6μS;再用12Mev电子辐照,使基区少子寿命τp为0.9~1.1μs;在硅片两面蒸镀钛-镍-金、经台面喷砂造型,去砂、清洗、腐蚀、钝化保护、中间测试、装壳、封装,测试合格后,制成成品。
申请公布号 CN101582456B 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN200910303958.7 申请日期 2009.07.02
申请人 锦州市双合电器有限公司 发明人 夏吉夫;郭永亮;潘福泉;潘峰
分类号 H01L29/861(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/861(2006.01)I
代理机构 锦州辽西专利事务所 21225 代理人 李辉
主权项 一种高频电镀用快恢复整流二极管,是由管壳、芯片构成,所述的芯片包括基区N、扩磷区N+和扩硼区P+以及阴、阳极欧姆接触,其特征是:所述的芯片采用N型(100)径向低阻单晶硅片,所述的单晶硅片电阻率ρn为5~9Ω‑cm、直径为48~70㎜、厚度175~185μm,且管子厚度为7.5~8.5mm,扩磷区N+和扩硼区P+为双面一次扩散形成,阴、阳极欧姆接触为钛‑镍‑金或钛‑镍‑银。
地址 121000 辽宁省锦州市凌河区金屯村104号