发明名称 |
一种H型二维超精密工作台结构 |
摘要 |
一种H型超精密工作台结构属于精密测量、超精密加工、微型机械和纳米等领域。它的X轴滑块环抱在X轴导轨上;X轴导轨的两端固定在两条Y轴滑块上;Y轴滑块环抱在Y轴导轨上;Y轴导轨通过导轨垫固定在基座上;其特征在于:X轴滑块和Y轴滑块都设计为对称的封闭式结构,且与基座的上表面间维持固定的压缩气体气膜间隙;X轴导轨上表面与X轴滑块内上表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量,X轴导轨下表面与X轴滑块内下表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量;Y轴导轨设计同X轴导轨。这种结构提高了导轨的导向精度和工作台结构的稳定性,X轴和Y轴定位精度互不影响,避免了误差叠加效应;系统刚度高,精度保持性好。 |
申请公布号 |
CN101746711B |
申请公布日期 |
2011.11.09 |
申请号 |
CN200910243656.5 |
申请日期 |
2009.12.18 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
石照耀;张斌;林家春 |
分类号 |
B81C3/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;G01B21/02(2006.01)I |
主分类号 |
B81C3/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 |
代理人 |
张慧 |
主权项 |
一种H型二维超精密工作台结构,X轴滑块环抱在X轴导轨上;X轴导轨的两端固定在两条Y轴滑块上;Y轴滑块环抱在Y轴导轨上;Y轴导轨通过导轨垫固定在基座上;X轴滑块的两内侧面有压缩气体气流小孔,X轴导轨的两侧面与X轴滑块的两内侧面间维持固定的气膜间隙;Y轴滑块的两内侧面有压缩气体气流小孔,Y轴导轨的两侧面与Y轴滑块的两内侧面间维持固定的气膜间隙;X轴滑块的下底面有压缩气体气流小孔和真空腔,Y轴滑块的下底面有压缩气体气流小孔和真空腔;其特征在于:X轴滑块和Y轴滑块都设计为对称的封闭式结构,X轴滑块和Y轴滑块都与基座的上表面间维持固定的压缩气体气膜间隙;X轴导轨上表面与X轴滑块内上表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量,X轴导轨下表面与X轴滑块内下表面间间隙不小于X轴导轨因自身重量导致的变形量;Y轴导轨上表面与Y轴滑块的内上表面间间隙不小于Y轴导轨因自身重量和X轴导轨重量导致的变形量之和,Y轴导轨下表面与Y轴滑块的内下表面间隙不小于Y轴导轨因自身重量和X轴导轨重量导致的变形量之和。 |
地址 |
100124 北京市朝阳区平乐园100号 |