用于成形CIGS/CIS太阳能电池的混浊氧化锌膜

摘要

本发明提供了一种用于制造成形薄膜光伏装置的方法，包括提供一定长度的管状玻璃衬底，该管状玻璃衬底具有内径、外径、被吸收层覆盖的圆周外表面区域以及覆盖该吸收层的窗口缓冲层。将该衬底放置在约0.1托至约0.02托的真空中，并引入来源于二乙基锌物种、水物种的反应物物种的混合物和载气，以及乙硼烷物种。对该衬底进行加热以形成具有0.75-3μm的厚度、至少5％的浊度和小于约2.5毫欧-厘米的电阻率的氧化锌膜。本发明使得薄膜级联光伏电池能够利用常规设备制造，本发明以节省成本的方式，提供了与常规光伏电池相比具有改善的转化效率的薄膜光伏电池。

主权项

一种用于制造成形薄膜光伏装置的方法，所述方法包括：提供一定长度的管状玻璃衬底，所述管状玻璃衬底具有内径、外径、被吸收层覆盖的圆周外表面区域和覆盖所述吸收层的窗口缓冲层；使所述管状玻璃衬底处于约0.1托至约0.02托的真空环境中；将来源于二乙基锌物种、水物种的反应物物种的混合物和载气引入到所述真空环境中；将乙硼烷物种引入到所述反应物物种的混合物中；加热管状玻璃衬底；以及形成覆盖所述窗口缓冲层的氧化锌膜，所述氧化锌膜具有0.75‑3μm的厚度、至少5％的浊度和小于约2.5毫欧‑厘米的电阻率。