发明名称 衬底涂层及其形成方法
摘要 本发明涉及一种衬底涂层及其形成方法。所述衬底涂层包含:第一层,其用于附着于衬底上,所述第一层的成分至少包含硅含量丰富的碳,其中硅含量约等于或大于碳含量;及第二层,其附着于所述第一层上,所述第二层的成分至少包含掺杂氟的类金刚石碳。本发明所提供的衬底涂层不但具有易清洁、坚硬防刮及表面平滑的功效,更具有较佳的附着性而不易脱落的功效。
申请公布号 CN102234785A 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN201010170129.9 申请日期 2010.04.30
申请人 永恒科技有限公司 发明人 陈少扬
分类号 C23C16/22(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 主分类号 C23C16/22(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 刘国伟
主权项 一种衬底涂层,其包含:第一层,其用于附着于衬底上,所述第一层的成分至少包含硅含量丰富的碳,其中硅含量约等于或大于碳含量;及第二层,其附着于所述第一层上,所述第二层的成分至少包含掺杂氟的类金刚石碳。
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