发明名称 晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法
摘要 本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法,将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜,进行氮化硅镀膜工艺。本发明中二氧化硅薄膜上表面钝化加强膜的制备节省了时间、降低了成本,并提高了太阳能电池的光电转换效率。
申请公布号 CN102237433A 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN201010152172.2 申请日期 2010.04.20
申请人 常州天合光能有限公司 发明人 吴国强
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄
主权项 一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法,其特征在于:将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜,进行氮化硅镀膜工艺。
地址 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号