发明名称 | 晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法,将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜,进行氮化硅镀膜工艺。本发明中二氧化硅薄膜上表面钝化加强膜的制备节省了时间、降低了成本,并提高了太阳能电池的光电转换效率。 | ||
申请公布号 | CN102237433A | 申请公布日期 | 2011.11.09 |
申请号 | CN201010152172.2 | 申请日期 | 2010.04.20 |
申请人 | 常州天合光能有限公司 | 发明人 | 吴国强 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 王凌霄 |
主权项 | 一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法,其特征在于:将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜,进行氮化硅镀膜工艺。 | ||
地址 | 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |