具有便携式储存器的自动化物料搬运系统及其操作方法

摘要

一种具有便携式储存器的自动化物料搬运系统及控制方法，该系统包括一输送器。一半导体工艺工具包括一升降机用端口且被定位接近于输送器，如此使得升降机用端口可设计对输送器与升降机用端口之间的一晶片传送盒的运输。一上游储存器与一下游储存器均并置于输送器与半导体工艺工具，上、下游储存器分别具有一单独储存空间与一单独机器人装置，单独储存空间提供晶片传送盒的使用，单独机器人装置设计用以在其单独储存空间与输送器之间进行晶片传送盒的运输，上游储存器设计用以接收来自于一置顶运输系统的晶片传送盒且将晶片传送盒传递至输送器，下游储存器设计用以接收来自于输送器的晶片传送盒且将晶片传送盒传递至置顶运输系统。本发明可避免现有技术的时间延迟。

主权项

一种自动化物料搬运系统，包括：一输送器；一半导体工艺工具，包括一升降机用端口，该半导体工艺工具定位接近于该输送器，如此使得该升降机用端口可设计用以接收一晶片传送盒且对该晶片传送盒进行运输，该晶片传送盒适用于储存来自于该输送器的一晶片；以及至少一储存器，并置于该输送器与该半导体工艺工具，该至少一储存器包括一储存空间与一机器人装置，该储存空间提供该晶片传送盒所使用，该机器人装置设计用以在该储存空间与该输送器之间进行该晶片传送盒的运输；其中，该至少一储存器可反转且包括一上游储存器与一下游储存器，该上游储存器设计用以接收来自于一置顶运输系统的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该输送器，该下游储存器设计用以接收来自于该输送器的该晶片传送盒且将该晶片传送盒传递至该置顶运输系统。