一种用于晶圆磨床的对刀装置

摘要

本发明为一种用于晶圆磨床的对刀装置。其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴。

主权项

一种用于晶圆磨床的对刀装置，其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上能够调节的轴向调节机构，所述轴向调节机构连接所述转动轴；所述传感器座带有导杆安装法兰，所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔，所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔，所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧，所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔，所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面；所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧，所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面，所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面，所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处；所述弹簧定位孔为通孔，所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片，所述支撑片环绕所述传感器，所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面。