有机薄膜晶体管制造中的栅介质材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种有机薄膜晶体管制造中的栅介质材料的制备方法，要解决的技术问题是避免了在制备OTFT器件的过程中，因淀积栅介质材料的同时对塑料衬底造成损伤而影响器件的制作。本发明包括以下步骤：一、将含有La、Ba、Mn的摩尔比为1∶1∶1的La2O3、BaO、MnO置于烧杯中，氧化得到多元氧化物LaBaMnO3；二、用纯度为99.9％硝酸溶解，加热至所有氧化物全部溶解，温度保持在100℃以内；三、加热后添加LaBaMnO3与柠檬酸的摩尔比为1∶3的柠檬酸后制备成包含LaBaMnO3的液体胶状；四、将制备得到的包含LaBaMnO3的液体胶状的胶体旋涂在塑料衬底上；五、将旋涂后的塑料衬底进行热处理，置于真空烘箱内加热至200℃，并在200℃下保温3小时得到厚度为200nm的LaBaMnO3栅介质材料。

主权项

一种有机薄膜晶体管制造中的栅介质材料的制备方法，包括以下步骤：一、将含有La、Ba、Mn的摩尔比为1∶1∶1的La2O3、BaO、MnO置于烧杯中，氧化得到多元氧化物LaBaMnO3；二、用纯度为99.9％硝酸溶解，加热至所有氧化物全部溶解，温度保持在100℃以内；三、加热后添加LaBaMnO3与柠檬酸的摩尔比为1∶3的柠檬酸后制备成包含LaBaMnO3的液体胶状；四、将制备得到的包含LaBaMnO3的液体胶状的胶体旋涂在塑料衬底上；五、将旋涂后的塑料衬底进行热处理，置于真空烘箱内加热至200℃，并在200℃下保温3小时得到厚度为200nm的LaBaMnO3栅介质材料。