基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板(4)的浮起台(1A、2A、3A)；以及吸附搬运部(5、6、7)，它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板(4)的端部并对基板(4)施加搬运力，该基板检查装置通过在这些吸附搬运部之间依次交接基板(4)，来进行基板(4)的搬运。根据本发明的基板检查装置，即使搬运路径长，也不会使基板变形，而且能够以良好的精度搬运基板。

主权项

一种基板检查装置，其用于将薄板状的矩形基板搬运到检查区域并进行检查，该基板检查装置具有：用于水平搬运所述矩形基板的搬运台；以及单侧搬运部，其在上述搬运台的沿着所述矩形基板搬运方向的任意侧配置有多个，它们具有滑块引导件、滑块和吸附块，以上述滑块引导件作为引导部件，并能够使上述滑块在恒定的直线上往复移动，经由上述吸附块保持所述矩形基板的单侧的端部，所述单侧搬运部对所述矩形基板向所述搬运方向施加搬运力，该基板检查装置通过使两个所述单侧搬运部的滑块移动到所述矩形基板的交接区域，并从一个单侧搬运部将所述矩形基板交接给另一个单侧搬运部，来进行所述矩形基板的搬运。