一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统

摘要

一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机以及Y向直线电机组成，用于驱动硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动。本发明的技术要点是在基台中间设置有两个过渡承接装置，过渡承接装置上安装有摩擦轮，当H型驱动单元与其精确对准时，靠摩擦轮的摩擦力，实现硅片台从预处理工位过渡到曝光工位。有效避免了导轨精密对接的问题，降低了系统结构的复杂性。

主权项

一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于预处理工位(18)的硅片台和运行于曝光工位(19)的硅片台，所述的两个硅片台设置在一基台(11)上，并通过气浮轴承悬浮在基台表面，在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元(3)，所述的H型驱动单元(3)由双侧X向直线电机(5)以及Y向直线电机(7)组成，用于驱动所述硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动，其特征在于：在位于预处理工位和曝光工位之间的基台上设有两个过渡承接装置(15)，将调平、调焦及对准的曝光准备工作转移至预处理工位的硅片台上，且与曝光工位的硅片台同时独立工作；所述的过渡承接装置包括摩擦轮(16)和用于驱动摩擦轮旋转的电机，当H型驱动单元与过渡承接装置精确对准时，靠旋转摩擦轮的摩擦力，实现硅片台从预处理工位过渡到曝光工位。