水平关节型机器人和基板传送系统

摘要

本发明涉及水平关节型机器人和基板传送系统。该水平关节型机器人包括：第一手臂和第二手臂，所述第一手臂在基端部分由所述机身支撑，能够绕着第一接合点旋转，所述第二手臂在基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑，能够绕着第二接合点旋转；叉状物，该叉状物包括由第二手臂的梢端部分所支撑的基端部分以绕着第三接合点旋转。第一手臂包括在第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，该第一增大部分的上表面被设置为比第一手臂的基端部分的上表面的高。第二手臂包括在第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，该第二增大部分的下表面被设置为比第二手臂的基端部分的下表面低。第一增大部分和第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。

主权项

一种用于传送基板的水平关节型机器人，所述机器人包括：机身；第一手臂，所述第一手臂包括基端部分和梢端部分，所述第一手臂的基端部分由所述机身支撑为能够绕着第一接合点旋转；第二手臂，所述第二手臂包括基端部分和梢端部分，所述第二手臂的基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑为能够绕着第二接合点旋转；以及叉状物，所述叉状物用于把持所述基板，所述叉状物包括由所述第二手臂的梢端部分支撑为能够绕着第三接合点旋转的基端部分，其中所述第一手臂包括在所述第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，所述第一增大部分的上表面被设置为比所述第一手臂的基端部分的上表面高，其中所述第二手臂包括在所述第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，所述第二增大部分的下表面被设置为比所述第二手臂的基端部分的下表面低，并且其中所述第一增大部分和所述第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。