光刻设备和制造物品的方法

摘要

本发明涉及光刻设备和制造物品的方法，该光刻设备包括：遮光板，该遮光板在其边缘上包括与圆形边界线重叠的弧形，该圆形边界线限定要将该图案转印到其上的区域，并且，该圆形边界线位于基板的外周的内侧，所述遮光板阻挡光以防止该光入射到位于圆形边界线的外侧的外周区域上；第一驱动单元，围绕与照射系统的光学轴平行的轴旋转所述遮光板；以及第二驱动单元，在垂直于光学轴的平面内线性驱动所述遮光板。

主权项

一种光刻设备，该光刻设备通过照射系统经由原版以光照射涂覆在基板上的感光材料，以将该原版的图案转印到基板上的击射区域上，该设备包括：遮光板，该遮光板在其边缘上包括与圆形边界线重叠的弧形，该圆形边界线限定基板上的要将该图案转印到其上的区域，并且，该圆形边界线位于基板的外周的内侧并且距该基板的外周预定距离，所述遮光板阻挡光以防止该光入射到基板上的位于圆形边界线的外侧的外周区域上；第一驱动单元，围绕与照射系统的光学轴平行的轴旋转所述遮光板；以及第二驱动单元，在垂直于照射系统的光学轴的平面内线性驱动所述遮光板。