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发明名称 DIELECTRIC FILM
摘要
申请公布号 EP1442476(B1) 申请公布日期 2011.11.09
申请号 EP20020766293 申请日期 2002.09.17
申请人 ADVION BIOSYSTEMS, INC. 发明人 LI, JIE;CORSO, THOMAS, N.;SCHULTZ, GARY, A.
分类号 G01N30/72;G01N27/447;H01L21/306;B32B7/00;B81B1/00;G01N37/00;G02B1/11;H01B3/10;H01B3/12;H01B7/282;H01B17/60;H01J49/04;H01L29/00;H01L29/74;H01L29/76;H01L29/78 主分类号 G01N30/72
代理机构 代理人
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