| 摘要 |
<p>프로브 카드는 제1 기판 구조물, 제2 기판 구조물, 보강판, 레벨 볼트, 평탄 조절 부재 및 픽싱 볼트를 포함한다. 제2 기판 구조물은 제1 기판 구조물의 하부에 배치되어 상기 제1 기판 구조물과 전기적으로 연결되고 그 하부면에 다수의 탐침을 갖는다. 보강판은 제1 기판 구조물의 상부에 배치되며, 상하로 형성된 관통홀을 갖는다. 레벨 볼트는 보강판에 고정되도록 관통홀 내에 체결되며, 제1 기판 구조물을 관통하여 제2 기판 구조물의 상부면에 접촉하고 제2 기판 구조물의 평탄도를 조절한다. 평탄 조절 부재는 레벨 볼트와 보강판 사이에 개재되어 제2 기판 구조물의 평탄도를 조절하기 위해 구비된다. 픽싱 볼트는 레벨 볼트를 관통하여 보강판과 제2 기판 구조물을 체결한다.</p> |
