表面声波器件及其制造方法

摘要

本发明涉及表面声波器件及其制造方法。该表面声波器件包括：压电基板；由设置在所述压电基板上的电极和该压电基板组成的表面声波元件；第一密封树脂部分，其设置在所述压电基板上并在所述表面声波元件上具有腔室，以及无机绝缘膜，其接触压电基板的表面以围绕所述表面声波元件。AB

主权项

一种声波器件，该声波器件包括：声波元件，该声波元件形成在基板上，并包括设置在所述基板上的电极；第一密封树脂部分，该第一密封树脂部分设置在所述基板上并且具有在所述声波元件上的腔室；无机绝缘膜，该无机绝缘膜被设置在所述第一密封树脂部分的表面以及所述基板的表面的完全围绕所述第一密封树脂部分的整个区域上；第二密封树脂部分，所述第二密封树脂部分设置在所述无机绝缘膜上；以及耦合部分，该耦合部分电耦合到所述声波元件，并且该耦合部分被设置在延伸穿过所述无机绝缘膜、第一密封树脂部分和所述第二密封树脂部分的开口中。