适合于酸生成剂的盐和含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n-价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种式(I)表示的盐：其中，X表示可以具有选自环结构和双键中的至少一种的n-价C1-C30烃基，其中至少一个-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，并且其中至少一个氢原子可以被选自C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个取代，Y¹和Y²各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示2或3，并且A⁺表示有机抗衡离子，其中所述的有机抗衡离子是选自式(IIa)表示的阳离子、式(IIb)表示的阳离子和式(IIc)表示的阳离子中的至少一种阳离子，在式(IIa)中，P¹、P²和P³各自独立地表示可以被选自羟基、C3-C12环烃基和C1-C12烷氧基中的至少一个取代的C1-C30烷基；或者可以被选自羟基和C1-C12烷氧基中的至少一个取代的C3-C30环烃基，在式(IIb)中，P⁴和P⁵各自独立地表示氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，以及在式(IIc)中，P⁶和P⁷各自独立地表示C1-C12烷基或C3-C12环烷基，或者P⁶和P⁷结合形成C3-C12二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的S⁺一起形成环，并且所述二价无环烃基中的至少一个-CH₂-任选被-CO-、-O-或-S-取代，P⁸表示氢原子，P⁹表示C1-C12烷基、C3-C12环烷基或者芳族基，或者P⁸和P⁹结合形成二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的-CHCO-一起形成2-氧代环烷基，并且所述二价无环烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-、-O-或-S-取代，或所述的有机抗衡离子是式(IId)表示的阳离子：其中，P¹⁰、P¹¹和P¹²各自独立地表示氢原子或C1-C4烷基。