| 发明名称 |
溅镀承载装置 |
| 摘要 |
本发明涉及一种溅镀承载装置，其包括导热基座，多个导热承载部及多个散热鳍片，该导热基座具有第一表面及与第一表面相对的第二表面，该多个导热承载部呈阵列式排列地设置于导热基座的第一表面以承载多个被镀覆物件进行溅镀，该多个散热鳍片设置于导热基座的第二表面。使用该溅镀承载装置溅镀时，被镀覆物件所吸收的热量可及时经由导热承载部传导至散热鳍片进行散热，使得被镀覆物件的温度得以有效降低，不致发生受热形变。 |
| 申请公布号 |
CN101307432B |
申请公布日期 |
2011.11.09 |
| 申请号 |
CN200710200620.X |
申请日期 |
2007.05.15 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
李汉隆 |
| 分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种溅镀承载装置，其包括导热基座，多个导热承载部及多个散热鳍片，该导热基座具有第一表面及与第一表面相对的第二表面，该多个导热承载部呈阵列式排列地设置于导热基座的第一表面以承载多个被镀覆物件进行溅镀，该多个散热鳍片设置于导热基座的第二表面。 |
| 地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
