Spin coater apparatus and method for coating photo register using the same
摘要
<p>스핀 코터 장치 및 스핀 코터 장치를 이용하여 감광액을 도포하는 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 스핀 코터 장치는 웨이퍼를 회전시키며 감광액을 도포하는 스핀 코터 장치에 있어서, 웨이퍼를 고정시키고 회전시키는 스핀부 및 웨이퍼의 상부에서 감광액을 분사하는 노즐을 포함하며, 노즐을 웨이퍼의 가장자리에서 시작하여 웨이퍼의 중앙으로 이동시키며 감광액을 웨이퍼에 도포한다.</p>
