| 摘要 |
<p>본 발명은, 분말 내부에 다수의 기공이 형성되어 있고, 상기 기공의 지름은 1∼20㎚ 범위를 이루며, 상기 분말의 평균 입경은 10∼200㎚ 범위를 이루는 질화알루미늄 분말 및 그 제조방법과 상기 분말을 이용한 질화알루미늄 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 질화알루미늄(AlN) 분말 내부에 다수의 나노 기공(pore)이 형성되어 있어 소결 공정에서 소결조제를 복합화함으로서 입계 뿐만 아니라 입내에서도 2차상이 형성되어 불순물 산소를 트랩하거나 고정하여 잔존 산소량을 감소시킬 수 있으며 이에 의해 높은 열전도도를 갖게 할 수가 있다.</p> |
