发明名称 APPARATUS OF MEGASONIC CLEANER
摘要 <p>본 발명은 초음파의 직진성에 의해 발생할 수 있는 사각지대의 위치를 각 세정조에서 서로 다르게 하여 세정력을 향상할 수 있는 초음파 세정 장치에 관한 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정 장치는, 내부 공간이 형성되며 상기 내부 공간에 세정액이 충전되는 복수의 세정조, 상기 각 세정조 내부에 설치되어 피세정재(被洗淨材)를 지지하는 지지부재, 및 상기 세정액에 상기 피세정재의 세정을 위한 초음파 진동을 제공하는 초음파 진동기를 포함한다. 이 때, 상기 서로 다른 세정조에서 상기 적어도 어느 하나의 지지부재는 서로 다른 위치에 설치되거나, 서로 다른 단면적을 가진다.</p>
申请公布号 KR101079324(B1) 申请公布日期 2011.11.04
申请号 KR20040115531 申请日期 2004.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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