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Die Erfindung betrifft einen Substratkörper auf der Basis von Siliziumnitrid, der neben Siliziumnitrid (SiN), Anteile an Yttriumoxid (Y2O3), Magnesiumoxid (MgO) und Siliziumoxid (SiO2) enthält, der zum einen größer 5 und kleiner 7,5 Gewichts-% Yttriumoxid (Y2O3), größer 3 bis 7,5 Gewichts-% Magnesiumoxid (MgO) und 3 bis 6 Gewichts-% Siliziumoxid (SiO2), Rest Siliziumnitrid (SiN), mit der Maßgabe, dass das Verhältnis von Magnesiumoxid (MgO) zu Siliziumoxid ≥ 1 beträgt, oder größer 5 und kleiner 7,5 Gewichts-% Yttriumoxid (Y2O3), 3 bis 8 Gewichts-% Scandiumoxid (Sc2O3), Rest Siliziumnitrid (SiN), mit der Maßgabe, dass die Summe von Yttriumoxid (Y2O3) und Scandiumoxid (Sc2O3) 8 bis 15 Gewichts-% beträgt, enthält.
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