Bewahren der Integrität eines Gatestapels mit großemεnach Einbettung in ein Verspannungsmaterial unter Anwendung einer Beschichtung

摘要

Gateausfälle in komplexen Metallgateelektrodenstrukturen mit großem &egr;, die in einer frühen Fertigungsphase hergestellt werden, können verringert werden, indem ein schützendes Beschichtungsmaterial nach dem Einbau einer verformungsinduzierenden Halbleiterlegierung und vor dem Ausführen jeglicher kritischer nasschemischer Prozesse hergestellt wird. Auf diese Weise kann der Angriff auf empfindliche Gatematerialien nach dem Einbau des verformungsinduzierenden Halbleitermaterials vermieden werden, ohne dass die weitere Bearbeitung des Bauelements beeinflusst wird. Auf diese Weise können sehr anspruchsvolle Schaltungsentwurfsformen in komplexen Vorgehensweisen, in denen das Gate zuerst hergestellt wird, angewendet werden.