ALUMINUM MATERIAL HAVING AlN REGION ON THE SURFACE THEREOF AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
<p>본 발명은 AlN 영역의 막 두께가 두껍고, 영역 내에 있어서 균일하고, 모재와의 밀착성이 높은 AlN 영역을 표면에 갖는 알루미늄 재료 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, CuAl를 갖는 알루미늄 재료를 준비하는 공정 및 상기 알루미늄 재료를 플라즈마 질화하는 공정을 갖고, 이에 의해 알루미늄 재료의 표면에 질화 알루미늄(AlN) 영역을 생성하는 AlN 영역을 표면에 갖는 알루미늄 재료의 제조 방법을 제공한다.</p>
