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经营范围
发明名称
PROCESS FOR PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR20110120335(A)
申请公布日期
2011.11.03
申请号
KR20117022056
申请日期
2010.09.28
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人
SASAKI MAKOTO;HARADA SHIN;NISHIGUCHI TARO;OKITA KYOKO;INOUE HIROKI;NAMIKAWA YASUO
分类号
H01L21/20;C30B29/36;H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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