| 发明名称 |
PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
| 摘要 |
<p>본 발명은 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 나노와이어를 압저항 물질로 사용하고 외부의 압력에 대해 가장 큰 변형이 발생하는 위치에 상기 압저항 물질이 배치하여 압력에 대한 감도를 증가시킨 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101079855(B1) |
申请公布日期 |
2011.11.03 |
| 申请号 |
KR20080133461 |
申请日期 |
2008.12.24 |
| 申请人 |
|
发明人 |
|
| 分类号 |
B82Y15/00;G01L1/18;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
B82Y15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
