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发明名称 Horizontal interconnection architecture based on carbon nanotubes
摘要
申请公布号 EP2139038(A3) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20090305329 申请日期 2009.04.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 DIJON, JEAN
分类号 H01L23/532;H01L21/768 主分类号 H01L23/532
代理机构 代理人
主权项
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