发明名称 In-line gas-phase diffusion furnace
摘要
申请公布号 EP2276057(B1) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20090400026 申请日期 2009.05.29
申请人 ROTH & RAU AG 发明人 SCHEIT, UWE, DR.
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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