一种光闸莫尔条纹焦面检测方法

摘要

本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，用于投影光刻机非接触快速焦面检测，该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成，该系统基于三角测量的基本原理，利用双光栅光闸莫尔条纹的光强调制特性，构建单个光栅周期内，焦面位移量和光能量线性关系。该系统是一种非接触、快速的光学测量手段，为投影光刻高精度实时焦面检测提供有效手段。

主权项

一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，其特征在于，所述检测系统采用掠入射，形成三角测量光学结构，其是由照明光源(1)、扩束准直镜组(2)、第一光栅(3)、第一远心成像镜组(4)、第二远心成像镜组(5)、第二光栅(6)、聚光镜(7)、光电检测单元(8)和硅片(9)组成，照明光源(1)发出的宽谱光线上设有扩束准直镜组(2)、第一光栅(3)、第一远心成像镜组(4)和硅片(9)，照明光源(1)发出的宽谱光通过扩束准直镜组(2)均匀照明第一光栅(3)，第一光栅(3)通过远心成像镜组(4)成像于硅片(9)，在硅片(9)的反射光线上设有第二远心成像镜组(5)、第二光栅(6)、聚光镜(7)、光电检测系统(8)，硅片(9)是镜面反射，大部分反射光通过第二远心成像镜组(5)收集，而成像于第二光栅(6)，在第二光栅(6)表面形成第一光栅(3)的像(3’)，第一光栅(3)的像(3’)被第二光栅(6)调制生成调制光，调制光通过聚光镜(7)会聚到光电检测单元(8)进行光电转换和电学信号处理。