超高精度气静压轴承主轴系统

摘要

一种超高精度气静压轴承主轴系统，其中包括转轴(1)、主轴箱(2)和主轴箱端盖(3)，其中转轴(1)安装于主轴箱(2)内，依靠气静压轴承支承并相对于主轴箱(2)转动，该气静压轴承集成于主轴箱(2)内且与主轴箱一体化，从而实现最简单的构型。主轴箱(2)中设置有止推凸台(28)，用以连接主轴箱端盖(3)和形成止推轴承的轴向气膜间隙。主轴箱(2)的主孔腔内表面(2a)上设置有真空环形槽(25)，该真空环形槽(25)位于两个排气槽(24)之间，主轴箱(2)设置有真空口(29)，与转轴(1)上的径向孔(13)和中心孔(11)共同形成连通的真空气路通道，当转轴端面安装真空吸盘时可用于吸附工件。

主权项

一种超高精度气静压轴承主轴系统，其中包括转轴(1)、主轴箱(2)和主轴箱端盖(3)，其中转轴(1)安装于主轴箱(2)内，依靠气静压轴承支承并相对于主轴箱(2)转动，该气静压轴承集成于主轴箱(2)内且与主轴箱(2)一体，其特征在于：主轴箱(2)开设有圆柱形的主孔腔，该主孔腔内表面(2a)为轴颈轴承面，主轴箱(2)的主孔腔内表面(2a)开设有两个排气槽(24)，主轴箱(2)设置有用作止推垫环的止推凸台(28)，该止推凸台(28)与主轴箱(2)一体，所述主轴箱(2)还设置有与主孔腔内表面(2a)的轴线(12)相垂直的一个止推面(2b)，所述主轴箱端盖(3)的一个端平面作为止推轴承的另一个止推面(3a)，在主轴箱(2)内的主孔腔内表面(2a)上设置有径向节流器(21a，21b)，止推面(2b)上设置有轴向节流器(27)；在主轴箱端盖(3)的止推面(3a)上也设置有轴向节流器(31)。