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发明名称 A METHOD AND SYSTEM FOR SPECTRUM DATA ANALYSIS
摘要
申请公布号 EP2250474(A4) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20090707645 申请日期 2009.02.06
申请人 FEI COMPANY 发明人 CORBETT, DANIEL ROY;GOTTLIEB, PAUL;OWEN, MICHAEL JAMES;MENZIES, ANDREW HARLEY
分类号 G01J3/28;G01J3/30;G01J3/46;G01N23/207;G01N23/223 主分类号 G01J3/28
代理机构 代理人
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