一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统

摘要

本发明涉及一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统，属于精密测量及修正技术领域。由X轴平面相位偏移干涉仪、Y轴平面相位偏移干涉仪、姿态调整机构、测量角镜和控制系统组成；X轴平面相位偏移干涉仪和Y轴平面相位偏移干涉仪通过测量角镜绕直角坐标系X、Y、Z三轴的角度变化来获取被测运动系统的姿态变化，并将三个角度变化值变为电压信号送入控制系统，控制系统对三个角度变化值进行坐标变换计算并按照计算结果控制姿态调整机构动作，实现对被测运动系统的姿态修正。本发明结构简单，操作方便，成本低，测量及控制精度高，采用两台平面相位偏移干涉仪即可同时测量三个坐标轴的转角变化值，并能够实现姿态修正。

主权项

一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统，其外围设备为被测运动系统，由X轴平面相位偏移干涉仪、Y轴平面相位偏移干涉仪、姿态调整机构、测量角镜和控制系统组成，其特征在于：测量角镜为正交测量反射镜面，水平放置并固定安装在被测运动系统上，定义测量角镜的一个镜面方向为X轴方向，另一个镜面方向为Y轴方向，垂直于水平面的方向为Z轴方向，形成直角坐标系；X轴平面相位偏移干涉仪的测量光束在水平面上垂直于测量角镜的Y轴镜面方向入射，Y轴平面相位偏移干涉仪的测量光束在水平面上垂直于测量角镜的X轴镜面方向入射，两者形成正交坐标系；X轴平面相位偏移干涉仪和Y轴平面相位偏移干涉仪通过测量角镜绕直角坐标系X、Y、Z三轴的角度变化来获取被测运动系统的姿态变化，其中X平面相位偏移干涉仪测量运动系统绕Y、Z轴的角度变化值，Y平面相位偏移干涉仪测量运动系统绕X、Z轴的角度变化值，取两台平面相位偏移干涉仪测量绕Z轴角度变化值的平均值作为绕Z轴的角度变化值；X轴平面相位偏移干涉仪和Y轴平面相位偏移干涉仪将获取的被测运动系统的三个角度变化值变为电压信号送入控制系统，控制系统对三个角度变化值进行坐标变换计算并按照计算结果控制姿态调整机构动作，实现对被测运动系统的姿态修正。