集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置

摘要

本实用新型公开了一种集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置包括腔体、腔体内的磨碎盘、腔体外的驱动电机、连接磨碎盘和驱动电机的传动机构、控制电路；腔体一侧设有入口管，另一侧设有出口管，入口管和出口管之间设有压差开关，腔体底部设有下限位开关，上部设有上限位开关；所述压差开关、上限位开关、下限位开关和驱动电机连接到控制电路，控制电路控制驱动电机正反转带动磨碎盘在腔体内上下运动。本实用新型在压差超过预定值时自动将大颗粒生成物磨碎排入扫除真空系统，避免了堵塞扫除真空管以及粉尘影响洁净生产厂房的环境，缩短了生产设备维护保养时间，提高了设备使用效率。

主权项

一种集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：包括封闭的腔体、设于腔体内的磨碎盘、位于腔体外的驱动电机、连接磨碎盘和驱动电机的传动机构、控制电路；所述腔体一侧设有入口管，另一侧设有连接到扫除真空系统上的出口管，入口管和出口管之间设有压差开关，腔体的底部设有下限位开关，上部设有上限位开关；所述压差开关、上限位开关、下限位开关和驱动电机连接到控制电路，控制电路控制驱动电机正、反转带动磨碎盘在腔体内上、下运动。