石墨舟导流结构

摘要

本实用新型涉及一种石墨舟导流结构，包括舟片、陶瓷杆，陶瓷杆上套有陶瓷套，舟片上设有供石墨舟陶瓷杆穿套的定位孔，舟片上，在定位孔沿石墨舟底座方向的一侧设有与该定位孔连通的第一导流槽，和/或在陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽，用于将清洗石墨舟的氢氟酸和清水引流导出。本实用新型通过在石墨舟片上对应的定位孔旁侧，设置导流槽，或者在陶瓷套上设置导流孔或导流槽，在清洗石墨舟时，陶瓷杆与陶瓷套之间，陶瓷套与石墨舟片，石墨舟片与陶瓷杆之间的氢氟酸和清水能够通过导流槽或孔及时排出，缩短石墨舟烘干时间，减少了氢氟酸对陶瓷配件的腐蚀速度，延长石墨舟及其配件的使用寿命，降低成本，同时提高了硅片镀膜后的转换效率。

主权项

一种石墨舟导流结构，包括舟片、陶瓷杆，陶瓷杆上套有陶瓷套，所述舟片上设有供陶瓷杆穿套的定位孔，其特征在于，所述舟片上，在定位孔沿石墨舟底座方向的一侧设有与该定位孔连通的第一导流槽，和/或在所述陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽，用于将清洗石墨舟的氢氟酸和清水引流导出。