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发明名称 MICROSTRUCTURE, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, DEVICE FOR BONDING A MICROSTRUCTURE AND MICROSYSTEM
摘要
申请公布号 EP2382152(A2) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20100708091 申请日期 2010.01.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ 发明人 BRAEUER, JOERG;GESSNER, THOMAS;HOFMANN, LUTZ;FROEMEL, JOERG;WIEMER, MAIK;LETSCH, HOLGER;BAUM, MARIO
分类号 B81C3/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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