基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统

摘要

基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统，它涉及一种利用光学透镜的扫描系统。它解决了现有的光学扫描系统适用波长单一且无法实现线性匀速扫描的问题，本发明包括2μm激光器、偏振分束棱镜、1/4波片、双轴MEMS反射振镜、三片式F-Theta透镜组、高反射镜和光电探测器，所述双轴MEMS反射振镜位于所述三片式F-Theta透镜组的系统焦距处。本发明适用于激光外差干涉仪的扫描系统。

主权项

基于双轴MEMS反射振镜和F‑Theta透镜的线性扫描系统，其特征在于所述扫描系统包括2μm激光器(1)、偏振分束棱镜(2)、1/4波片(3)、双轴MEMS反射振镜(4)、三片式F‑Theta透镜组(5)、高反射镜(6)和光电探测器(7)，所述高反射镜(6)的反射率为96％～100％，所述双轴MEMS反射振镜(4)位于所述三片式F‑Theta透镜组(5)的系统焦距处，所述2μm激光器(1)输出波长为2μm的线偏振光至偏振分束棱镜(2)的一个信号接收端，所述偏振分束棱镜(2)将所接受的线偏振光透过输出，所述经偏振分束棱镜(2)透过输出的线偏振光通过1/4波片(3)变换为圆偏振光后输入至双轴MEMS反射振镜(4)的有效反射单元，所述双轴MEMS反射振镜(4)将输入的圆偏振光反射输出至三片式F‑Theta透镜组(5)的信号通讯端面，所述三片式F‑Theta透镜组(5)输出圆偏振平行光至待扫描物体(U)，经所述待扫描物体(U)透射的圆偏振平行光输入至高反射镜(6)的反射端面，所述高反射镜(6)将输入的圆偏振平行光反射输出偏振方向旋转90°的圆偏振平行光，所述偏振方向旋转90°的圆偏振平行光按原光路返回至双轴MEMS反射振镜(4)的有效反射单元，经所述双轴MEMS反射振镜(4)反射回的偏振方向旋转90°的反射圆偏振光通过1/4波片(3)后输出偏振方向旋转90°的反射线偏振光至线偏振分束棱镜(2)，所述偏振方向旋转90°的反射线偏振光经所述偏振分束棱镜(2)反射输入至光电探测器(7)的信号接收端。