一种石墨夹具组件

摘要

本实用新型提供的石墨夹具组件，包括石墨夹头，该石墨夹头具有用于夹持硅芯的卡接孔，且该卡接孔沿硅芯伸入方向渐缩。需要说明的是，卡接孔沿硅芯伸入方向渐缩，即随着硅芯在卡接孔中的不断深入，卡接孔作用于硅芯的卡接力不断增加。如此设置，可保证硅芯与石墨夹头的紧密接触，相比于二者较松动的配合于一起，本实用新型提供的硅芯与石墨夹头之间的接触电阻较小，进而可有效避免石墨夹具的温度过高的问题。同时，石墨夹具的温度较低时，可有效避免石墨夹具上无定形硅的沉积，进而，有效提高了硅的有效沉积率。

主权项

一种石墨夹具组件，其特征在于，包括石墨夹头，所述石墨夹头具有用于夹持硅芯的卡接孔，且所述卡接孔沿硅芯伸入方向渐缩。