发明名称 |
压电/电致伸缩膜型传感器 |
摘要 |
本发明提供一种压电/电致伸缩膜型传感器20,其中,压电/电致伸缩体5含有碱金属或碱土金属,同时,该压电/电致伸缩体5的表面附近含有硫化物和端子电极18、19的主成分。该压电/电致伸缩膜型传感器20中,耐受电压以上的高电压难以作用于压电/电致伸缩体5,因此,可防止介质击穿,并且,难以带上静电,因而,可防止静电破坏,不吸引尘埃、尘土等。 |
申请公布号 |
CN101484791B |
申请公布日期 |
2011.11.02 |
申请号 |
CN200780025092.7 |
申请日期 |
2007.07.04 |
申请人 |
日本碍子株式会社 |
发明人 |
大西孝生;清水秀树;小泉贵昭 |
分类号 |
G01N11/14(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I |
主分类号 |
G01N11/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
一种压电/电致伸缩膜型传感器,其具备:陶瓷基体,所述陶瓷基体具有薄隔膜部和与该薄隔膜部的周缘设置成一体的厚部,通过所述薄隔膜部与所述厚部形成与外部连通的空腔,压电/电致伸缩元件,所述压电/电致伸缩元件配设在该陶瓷基体的所述薄隔膜部的外表面上,具有由膜状的压电/电致伸缩体以及夹持该压电/电致伸缩体的下部电极和上部电极构成的层叠结构,以及,用于将所述下部电极和上部电极连接于电源的各个端子电极;通过与所述压电/电致伸缩元件的驱动联动,所述陶瓷基体的薄隔膜部发生振动;其中,所述压电/电致伸缩体含有碱金属或者碱土金属,同时,在该压电/电致伸缩体的表面附近含有硫化物以及所述端子电极的主成分。 |
地址 |
日本爱知县 |