具有加热改良构造的长晶炉

摘要

本发明是关于一种具有加热改良构造的长晶炉，其中，顶加热器的第一层加热器与第二层加热器依照硅原料堆栈而成的金字塔形状设计排列，可利于硅原料初期的热能吸收，当金字塔形外部的硅原料熔融后，直接流入内部硅原料的颗粒间，又可加速内部硅原料吸收热能，如此产生良性循环以快速熔融加热整锅坩埚内的硅原料。再以底加热器直接于坩埚下方加热，更可加速坩埚内硅原料的熔融效率，因此，可节省长晶炉所耗费的能源与时间。再者，顶、底加热器的各别形状对称，能对坩埚均匀加热，既节省能源又方便加热器加工，除省能外亦可节省制造成本。

主权项

一种具有加热改良构造的长晶炉，包括：一炉体，包括有一炉上腔、及一炉底盖，该炉底盖是盖合于该炉上腔下方、并共同围绕形成一炉内空间；一支撑桌体，容设于该炉体的该炉内空间内，该支撑桌体包括有一桌板、及复数根支撑柱，该桌板通过该复数根支撑柱以固设于该炉底盖内；其中：一顶加热器，容设于该炉体的该炉内空间内、并对应位于该桌板上方，该顶加热器包括有一第一层加热器、及至少一第二层加热器分别悬吊固设于该炉上腔内，该第一层加热器是高于该至少一第二层加热器，该至少一第二层加热器其外周大于该第一层加热器；以及一底加热器，与该支撑桌体的该桌板组设一起。