一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟

摘要

本发明公开了一种防止母液残留的液相外延石墨舟，该石墨舟主要包括：底板、滑块、可翻转衬底托板、控制栓、转动轴、底座。该发明的特点是，不但能够实现传统的水平式液相外延生长半导体薄膜。而且能够通过滑块滑动，带动控制栓的移动，从而使可翻转衬底托板的倾斜，在高温时，衬底上的残留母液呈液态的情况下，残留母液受重力作用流入残留母液收集槽，减少了薄膜表面母液残留，增大了薄膜的可用面积。

主权项

一种防止母液大面积残留的液相外延石墨舟，它包括底板(1)、滑块(2)、可翻转衬底托板(3)、控制栓(4)、转动轴(5)、底座(6)，其特征在于：底板(1)嵌置在底座(6)上的卡槽(601)中，底板(1)上开有残留母液收集槽(101)，和安装转动轴(5)的圆孔(102)，安装控制栓(4)的方孔(103)，控制滑块(2)方向的卡槽(104)，安装可翻转衬底托板(3)的孔(105)；滑块(2)上开有一个用于放置薄膜生长母液的母液槽(201)，滑块(2)嵌在底板(1)上面的卡槽(104)内，可以左右自由滑动；可翻转衬底托板(3)两端呈楔形，截面是平行四边形，上有放置衬底的衬底槽(301)，和一个安装转动轴(5)的圆孔(302)，安装转动轴(5)穿过可翻转衬底托板(3)上圆孔(302)和底板(1)上的圆孔(102)，将可翻转衬底托板(3)安装在底板(1)上的孔(105)中，可翻转衬底托板(3)可以绕转动轴(5)自由转动；控制可翻转衬底托板(3)翻转的控制栓(4)插在底板(1)上的方孔(103)中，控制栓(4)在方孔(103)中可以左右滑动。