基于步进电机的量块自动检定装置

摘要

本发明公开一种基于步进电机的量块自动检定装置，包括，处理电路与计算机相连接，步进电机单元的输入端连接处理电路，输出端连接测量工作台用于驱动测量工作台，激光干涉仪和电感测头分别夹持在测量工作台上，用于对被测量块的检测，其中的激光干涉仪与计算机相连将所测信号送入计算机，电感测头与处理电路相连将所测信号送入处理电路；温度传感器设置在测量工作台上的被测量块上，并与处理电路相连将被测量块的温度送入处理电路。本发明实现了自动化检定量块的需求。本发明实现了“一对多”，“点对点”的检定方法，降低了成本；实现了自动更换测量点、自动进行温度补偿和自动处理数据，提高了测量效率并且可以减小人为因素对测量过程的影响。

主权项

一种基于步进电机的量块自动检定装置，其特征在于，包括有计算机(1)、激光干涉仪(2)、温度传感器(3)、处理电路(4)、步进电机单元(5)、载有被测量块和标准块的测量工作台(6)以及电感测头(7)，其中，所述的处理电路(4)与计算机(1)相连接，所述的步进电机单元(5)的输入端连接处理电路(4)，输出端连接测量工作台(6)用于驱动测量工作台(6)，所述的激光干涉仪(2)和电感测头(7)分别夹持在测量工作台(6)上，用于对被测量块的检测，其中的激光干涉仪(2)与计算机(1)相连将所测信号送入计算机(1)，电感测头(7)与处理电路(4)相连将所测信号送入处理电路(4)；所述的温度传感器(3)设置在测量工作台(6)上的被测量块上，并与处理电路(4)相连将被测量块的温度送入处理电路(4)。