发明名称 A TEST METHOD ON THE SUPPORT SUBSTRATE OF A SUBSTRATE OF THE SEMICONDUCTOR ON INSULATOR TYPE
摘要
申请公布号 EP2382655(A1) 申请公布日期 2011.11.02
申请号 EP20100700411 申请日期 2010.01.14
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 LAGAHE BLANCHARD, CHRYSTELLE
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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