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发明名称
A TEST METHOD ON THE SUPPORT SUBSTRATE OF A SUBSTRATE OF THE SEMICONDUCTOR ON INSULATOR TYPE
摘要
申请公布号
EP2382655(A1)
申请公布日期
2011.11.02
申请号
EP20100700411
申请日期
2010.01.14
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
LAGAHE BLANCHARD, CHRYSTELLE
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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