| 摘要 |
<p>본 발명에 의하면, 공정챔버에 연결된 배기구 상에 설치되어 상기 배기구를 개폐하는 배기밸브유닛은 상기 배기구의 일측에 설치된 회전축 상에 회전가능하게 연결되며, 회전에 의해 상기 배기구를 개폐하는 차단판; 상기 차단판에 일단이 연결되며, 일방향을 따라 이동하여 상기 차단판을 회전시키는 로드부재; 상기 로드부재에 연결되어 상기 로드부재를 이동시키는 액츄에이터; 그리고 상기 회전축 및 상기 로드부재의 상기 일단을 감싸는 하우징을 포함하며, 상기 로드부재 및 상기 하우징 중 어느 하나는 상기 일방향을 따라 기설정된 거리만큼 이격된 복수의 눈금들을 가지고, 상기 로드부재 및 상기 하우징 중 다른 하나는 상기 눈금들을 따라 이동하여 상기 로드부재의 이동변위를 나타내는 지시부를 가진다.</p> |
