氢化炉

摘要

氢化炉，涉及多晶硅生产领域，包括底座，底座的上方连接外筒，外筒内设置底盘和保温筒，底座上还设置底座中心孔，底盘上还设置底盘中心孔，底座中心孔和底盘中心孔内穿置同一气管，气管包括内管和外管；保温筒内设置至少十二组成对布置的加热棒，底盘上还设置与加热棒数量相等的通孔，每个通孔内分别设置石墨电极，每个石墨电极分别螺纹连接电极座，每根加热棒的下端分别插置在相应的电极座内，每根加热棒与相应的电极座外分别套置同一石英护罩，每组的两根加热棒的上端分别通过连接块连接。本发明通过以上设计，冷气从内管进，加热后从内管与外管之间出，保温筒内配合多组加热棒，使得加热均匀而充分，大大提高了转化率。

主权项

氢化炉，其特征在于：包括底座，底座的上方连接外筒，外筒内设置底盘和保温筒，保温筒设置在底盘的上方；所述底座上还设置底座中心孔，所述底盘上还设置底盘中心孔，底座中心孔和底盘中心孔内穿置同一气管，所述气管包括内管和外管，内管穿置在外管内，内管的上端高于外管的上端；所述保温筒内设置至少十二组成对布置的加热棒，底盘上还设置与加热棒数量相等的通孔，每个通孔内分别设置石墨电极，每个石墨电极分别螺纹连接电极座，每根加热棒的下端分别插置在相应的电极座内，每根加热棒与相应的电极座外分别套置同一石英护罩，每个石英护罩分别穿置在相应的通孔内，每组的两根加热棒的上端分别通过连接块连接。