发明名称 半导体制造用反应炉的顶板
摘要 本外观设计产品是半导体制造用反应炉的顶板。其用途为:半导体制造用反应炉的顶板。本外观设计的设计要点在于形状的设计。设计1立体图是最能表明设计要点的图片。设计1为基本设计。
申请公布号 CN301715005S 申请公布日期 2011.11.02
申请号 CN201130078509.5 申请日期 2011.04.14
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 本间学;菱谷克幸
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;张会华
主权项
地址 日本东京都