使用在固定角位置的源和检测器的原位X射线衍射系统

摘要

一种X射线衍射技术，用于在原位状态测量材料样品的已知特性。该技术包括使用一种用以发射大体上发散的X射线辐射的X射线源，其具有相对于固定源设置的准直光学元件，以通过接收该发散X射线辐射和改向该发散X射线辐射的发散路径，产生大体上平行的X射线辐射束。第一X射线检测器收集自该样品衍射的辐射；其中根据有关该样品的已知特性的先验知识，该源和检测器在其运行期间彼此相对地、且在该样品的至少一个尺度中被固定。根据有关该样品已知特性的先验知识，特别是在本发明的相监测实施例中，可相对于该第一X射线检测器固定第二X射线检测器。

主权项

一种X射线衍射装置，用于在原位状态测量材料的样品的已知特性，包括：固定的X射线源，用于发射大体上发散的X射线辐射；准直光学元件，相对于该固定源设置，用于通过接收该发散X射线辐射并使该发散X射线辐射的发散路径改为朝向该样品，以产生大体上平行的X射线辐射束，该准直光学元件为多毛细管光学元件——一束细的中空管，其在相当大的立体角上收集发散X射线的一部分、发射光子，并因此使光子改向，从其另外的直线轨迹通过全外反射到沟槽内，并将收集到的发散X射线准直成射向样品的平行射束；第一和第二点X射线检测器，用于收集从该样品衍射的辐射；以及至少一个角滤光器，该角滤光器具有利用全外反射的多个、平行的毛细管，该角滤光器被固定在该第一和/或第二X射线检测器上，用于限制由相应的检测器收集该衍射的辐射的角度；其中，该第一X射线检测器被固定在适当位置，以便测量根据关于该样品的已知特性的先验知识确定的衍射峰；其中，该第二X射线检测器根据有关该样品的已知特性的所述先验知识、相对于该第一X射线检测器固定在适当位置，从而测量离开根据该先验知识确定的衍射峰的信号；其中，根据有关该样品的该已知特性的先验知识，所述源和检测器在其操作期间彼此相对地、且在相对于该样品的至少一个尺度中被固定在适当位置。