| 主权项 |
一种使用单一光源之倾角及位移同步量测之干涉仪装置，包含有一干涉仪系统、一角度感测控制系统及一讯号处理系统，其中：干涉仪系统包含有一光源组、一干涉仪及一位置检测组，该光源组系将光源射入该干涉仪中，而该干涉仪系设有一接受光源之干涉镜组及一用以移动干涉镜组之移动组，该干涉镜组包含有一用以接受光源组光源之固定镜及一倾角调整装置，该倾角调整装置系设有一底板、一与底板相结合之调整架及一与调整架相结合且与固定镜相对之移动镜，于移动镜的顶部系设有一反射镜，而位置检测组系与干涉镜组相连接且设有一遮光板、一分光镜及两位置检测器；角度感测控制系统系与干涉仪系统相连接，其系设有一分光架、一四象限感测器及一压电放大器，该分光架系设于光源组中且设有两垂直设置之上分光镜及下分光镜，其中该下分光镜系用以接收由光源组射出之雷射光并将其一分为二，其中一道光则射入上分光镜中并朝反光镜射出，而四象限感测器系设于分光架及光源组之间，其中反射镜反射之光线会穿过上分光镜而投射于四象限感测器上，而该四象限感测器会将雷射光转换成电压信号的方式输出，藉以计算出移动镜与固定镜之间的角度偏差量，而压电放大器系与干涉镜组相结合藉以控制移动镜的角度；以及讯号处理系统系与干涉仪系统及角度感测控制系统相连接，其主要系将四象限角度感测器所产生之电压信号转换成一数位讯号，并计算出控制量后再转换为一类比讯号而传至压电放大器中，藉以调整该倾角调整装置，进而使移动镜相对固定镜进行角度偏摆控制进而进行位移量测。 |
