积体碳奈米管感应器

主权项

一种积体电路，包含：一被监控之主要电晶体装置；及一内嵌式碳奈米管场效电晶体(CNT FET)，系与该被监控之主要电晶体装置隔开；其中该CNT FET系适用于侦测缺陷电路及测量该积体电路中的物理性质；其中该CNT FET系适用于量测该积体电路中的机械与热的应力与应变；以及其中该被监控之主要电晶体装置包含：一闸极；一源极区；一汲极区；及一闸极绝缘层，系将该闸极与该源极区与该汲极区的每一个隔开。