| 主权项 |
一种处理一基材上薄膜样本之至少一部分的方法，该薄膜样本之该至少一部分具有一第一边界及一第二边界，该方法至少包含下列步骤：(a)控制一照射光束产生器以按一预设重复速度发射连续照射光束脉冲；(b)以光罩塑形照射光束脉冲以定义一或多个第一射束及一或多个第二射束；(c)以一固定之预设速度连续扫瞄该薄膜样本；(d)在步骤(c)期间，以该第一射束连续地照射该薄膜之一或多个第一区域以融化该第一区域之整个厚度，其中藉每一照射光束脉冲的该第一射束所照射的每一该第一区域可再固化及结晶，藉以成长晶粒于其中形成一晶粒边界；及(e)在步骤(c)期间及步骤(d)之后，以该照射光束脉冲之该第二射束连续地照射该薄膜样本之两或多个第二区域以使该第二区域之整个厚度融化，其中至少两个该第二区域部分地重叠于该经再固化及结晶之第一区域之一特殊区域，以使该特殊区域之晶粒藉由一再固化反应成长进入该至少两第二区域之每一者中，且其中该至少两第二区域之至少一者系重叠于该特殊区域之该晶粒边界。 |
